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氧化锆陶瓷化学机械加工介绍

来源:www。taocibang。net作者:氧化锆陶瓷加工更新时间:2015-11-24 点击:次

为了避免坚硬磨料对氧化锆陶瓷加工面所造成的损伤,有关学者对化学机械加工产生了兴趣。其基本思想是将化学作用与机械作用结合在一起,化学反应产生较软的化合物或形成低熔点的共晶体,在机械作用下快速去除,由于去除力很小,没有反应的基体不会受到损伤。磨粒与工件的微观凸峰相接触,在一定压力作用下,工件凸峰刺入磨粒,产生高温高压,激活了两者之间的化学反应,随着磨粒与工件之间的相对运动,反应的产物被磨粒带走。该工艺过程的关键是选择合适的磨料,即保证磨粒与工件之间能发生化学反应,产生较软的化合物或形成低熔点的共晶体。通过控制压力和滑动速度可方便地实现工艺过程的控制。

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目前的工艺数据表明,氧化锆陶瓷精加工(抛光、研磨)最合适的磨料是三氧化二铬,加工三氧化二铝最合适的磨料是二氧化硅。Si3 N4、SiC同Cr2 03作用产生CrN和CrSiz;氧化铝作用则是形成低熔点的氧化铝·2Si02莫来石晶体。

目前还没有商业化的专用化学机械加工的工艺及设备,大多是利用金刚石工具加工的设备,仅仅改换磨料而实现的。由于要激活固相反应,需要在磨粒与工件凸峰之间产生压力,因而悬浮磨料的抛光工艺仅改换磨料,加工效率低于金刚石磨料。原因在于化学反应较弱,因而需要对工艺装置进行一定的改造。如增强磁磨粒抛光的磁场强度,设计专用的抛光工具头等。到目前为止,化学机械抛光任意形状的氧化锆陶瓷表面,还没有合适的工艺装置,特别是内腔表面的抛光,有待于深入研究开发。

此文关键词:氧化锆陶瓷

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